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文献
J-GLOBAL ID：200902221862411739
整理番号：05A0678107
マイクロ波応用のためのRFマグネトロンスパッタリングにより調製されたMgTiO3薄膜の性質
Properties of MgTiO3 thin films prepared by RF magnetron sputtering for microwave application
CHEN Yuan-bin
(Dep. of Electrical Engineering, National Cheng Kung Univ., 1 Univ. Rd., Tainan 70101, Taiwan)
,
HUANG Cheng-liang
(Dep. of Electrical Engineering, National Cheng Kung Univ., 1 Univ. Rd., Tainan 70101, Taiwan)
資料名：
Journal of Crystal Growth
(Journal of Crystal Growth)
巻： 282 号： 3-4 ページ： 482-489 発行年： 2005年09月01日
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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