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文献
J-GLOBAL ID：200902221971351797
整理番号：07A1213395
チャージポンピング測定と電気的モデリングによるHfO2技術におけるVT不安定性の徹底的な解析
IN DEPTH ANALYSIS OF VT INSTABILITIES IN HFO2 TECHNOLOGIES BY CHARGE PUMPING MEASUREMENTS AND ELECTRICAL MODELING
GARROS X.
(CEA-Leti, Grenoble, FRA)
,
MITARD J.
(STMicroelectronics, Crolles, FRA)
,
LEROUX C.
(CEA-Leti, Grenoble, FRA)
,
REIMBOLD G.
(CEA-Leti, Grenoble, FRA)
,
BOULANGER F.
(CEA-Leti, Grenoble, FRA)
資料名：
Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium
(Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium)
巻： 2007 Vol.1 ページ： 61-66 発行年： 2007年
JST資料番号： A0631A ISSN： 1541-7026 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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