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文献
J-GLOBAL ID：200902222112451301
整理番号：04A0909283
高周波マグネトロンスパッタリングによって堆積したMgTiO3薄膜の構造及び電気特性
Structure and electrical properties of MgTiO3 thin films deposited by rf magnetron sputtering
HUANG C-L
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
,
PAN C-L
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 22 号： 6 ページ： 2440-2445 発行年： 2004年11月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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