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文献
J-GLOBAL ID：200902222161270215
整理番号：05A1032777
界面活性剤を添加した種々のテトラメチル水酸化アンモニウム水溶液中の異方性シリコンエッチング特性の研究
Study on anisotropic silicon etching characteristics in various surfactant-added tetramethyl ammonium hydroxide water solutions
YANG Chii-Rong
(National Taiwan Normal Univ., Taipei, TWN)
,
YANG Cheng-Hao
(National Taiwan Normal Univ., Taipei, TWN)
,
CHEN Po-Ying
(National Taiwan Normal Univ., Taipei, TWN)
資料名：
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 15 号： 11 ページ： 2028-2037 発行年： 2005年11月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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