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文献
J-GLOBAL ID：200902222343619400
整理番号：03A0262172
銅電着過程における促進剤熟成効果
Accelerator Aging Effects During Copper Electrodeposition.
MOFFAT T P
(National Inst. Standards and Technol., Maryland, USA)
,
BAKER B
(National Inst. Standards and Technol., Maryland, USA)
,
WHEELER D
(National Inst. Standards and Technol., Maryland, USA)
,
JOSELL D
(National Inst. Standards and Technol., Maryland, USA)
資料名：
Electrochemical and Solid-State Letters
(Electrochemical and Solid-State Letters)
巻： 6 号： 4 ページ： C59-C62 発行年： 2003年04月
JST資料番号： W1290A ISSN： 1099-0062 CODEN： ESLEF6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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