文献
J-GLOBAL ID:200902222567067291
整理番号:05A0809532
Gaussビーム書き込み方策:Gaussビーム系用の形状ビームシミュレータSELIDTM使用での精度
Gaussian beam writing strategy: Accuracy of using the Shape Beam simulator SELID for Gaussian Beam Systems
著者 (8件):
TORTAI J.H.
(LTM, CNRS, Grenoble, FRA)
,
THIAULT J.
(LTM, CNRS, Grenoble, FRA)
,
TIRON R.
(CEA, Grenoble, FRA)
,
MOLLARD L.
(CEA, Grenoble, FRA)
,
HAEFELE Stephan
(SIGMA-C, Munich, DEU)
,
VYCHUB Sergey
(SIGMA-C, Munich, DEU)
,
LEWELLEN John
(SIGMA-C, CA)
,
BROOKER Peter
(SIGMA-C, CA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
5835
ページ:
82-88
発行年:
2005年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)