文献
J-GLOBAL ID:200902222614515109
整理番号:05A0825792
イオンビーム支援蒸着で合成したp型酸化亜鉛薄膜の光学的および電気的性質
Optical and electrical properties of p-type zinc oxide thin films synthesized by ion beam assisted deposition
著者 (6件):
YAN Zhi
(Res. Center of Functional Semiconductor Film Engineering Technol., Shanghai Inst. of Microsystem and Information ...)
,
SONG Zhi Tang
(Res. Center of Functional Semiconductor Film Engineering Technol., Shanghai Inst. of Microsystem and Information ...)
,
LIU Wei Li
(Res. Center of Functional Semiconductor Film Engineering Technol., Shanghai Inst. of Microsystem and Information ...)
,
WAN Qing
(Res. Center of Functional Semiconductor Film Engineering Technol., Shanghai Inst. of Microsystem and Information ...)
,
ZHANG Fu Min
(Res. Center of Functional Semiconductor Film Engineering Technol., Shanghai Inst. of Microsystem and Information ...)
,
FENG Song Lin
(Res. Center of Functional Semiconductor Film Engineering Technol., Shanghai Inst. of Microsystem and Information ...)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
492
号:
1-2
ページ:
203-206
発行年:
2005年12月01日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)