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文献
J-GLOBAL ID:200902222741080960   整理番号:08A0005190

RFプラズマ強化CVDで調製した六方晶BCN膜

Hexagonal BCN Films Prepared by RF Plasma-enhanced CVD
著者 (4件):
MANNAN Md. Abdul
(Dep. of Applied Chemistry, Fac. of Sci. and Engineering, Saga Univ.)
NAGANO Masamitsu
(Dep. of Applied Chemistry, Fac. of Sci. and Engineering, Saga Univ.)
HIRAO Norie
(Synchrotron Radiation Res. Unit, Quantum Beam Sci. Directorate, Japan Atomic Energy Agency)
BABA Yuji
(Synchrotron Radiation Res. Unit, Quantum Beam Sci. Directorate, Japan Atomic Energy Agency)

資料名:
Chemistry Letters  (Chemistry Letters)

巻: 37  号:ページ: 96-97 (J-STAGE)  発行年: 2008年 
JST資料番号: S0742A  ISSN: 0366-7022  CODEN: CMLTAG  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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