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文献
J-GLOBAL ID：200902222741080960
整理番号：08A0005190
RFプラズマ強化CVDで調製した六方晶BCN膜
Hexagonal BCN Films Prepared by RF Plasma-enhanced CVD
MANNAN Md. Abdul
(Dep. of Applied Chemistry, Fac. of Sci. and Engineering, Saga Univ.)
,
NAGANO Masamitsu
(Dep. of Applied Chemistry, Fac. of Sci. and Engineering, Saga Univ.)
,
HIRAO Norie
(Synchrotron Radiation Res. Unit, Quantum Beam Sci. Directorate, Japan Atomic Energy Agency)
,
BABA Yuji
(Synchrotron Radiation Res. Unit, Quantum Beam Sci. Directorate, Japan Atomic Energy Agency)
資料名：
Chemistry Letters
(Chemistry Letters)
巻： 37 号： 1 ページ： 96-97 (J-STAGE) 発行年： 2008年
JST資料番号： S0742A ISSN： 0366-7022 CODEN： CMLTAG 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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