文献
J-GLOBAL ID:200902222742829337
整理番号:06A0089970
誘発偏光での半導体パターン解析
Semiconductor Pattern Analysis with Induced Polarization
著者 (3件):
CHEN Tao
(Univ. Arizona, Tucson, USA)
,
MILSTER Tom
(Univ. Arizona, Tucson, USA)
,
YANG Seung Hune
(Univ. Arizona, Tucson, USA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
5992
号:
Pt.1
ページ:
59921L.1-59921L.9
発行年:
2005年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)