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文献
J-GLOBAL ID：200902223797504271
整理番号：04A0357072
MEMSプローブカード用の多層電気めっき微小ばねアレイ
MULTI-LAYER ELECTROPLATED MICRO-SPRING ARRAY FOR MEMS PROBE CARD
KATAOKA K
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
ITOH T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
INOUE K
(JSR Corp., Saitama, JPN)
,
SUGA T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名：
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 17th ページ： 733-736 発行年： 2004年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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