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文献
J-GLOBAL ID：200902224953084250
整理番号：08A0241692
化学的拡大の概念に基づくフォトリソグラフィーによってイメージ化した物質の化学
Chemistry of photolithographic imaging materials based on the chemical amplification concept
MOON Seong-yun
(Dep. of Chemical Engineering, Hanyang Univ., Seoul 133-791, KOR)
,
KIM Jong-man
(Dep. of Chemical Engineering, Hanyang Univ., Seoul 133-791, KOR)
資料名：
Journal of Photochemistry and Photobiology. C. Photochemistry Reviews
(Journal of Photochemistry and Photobiology. C. Photochemistry Reviews)
巻： 8 号： 4 ページ： 157-173 発行年： 2007年12月
JST資料番号： W1244A ISSN： 1389-5567 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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