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文献
J-GLOBAL ID：200902225171491413
整理番号：04A0856956
炭化けい素の電気化学機械研磨
Electro-Chemical Mechanical Polishing of Silicon Carbide
LI C
(Rensselaer Polytechnic Inst., NY)
,
BHAT I B
(Rensselaer Polytechnic Inst., NY)
,
WANG R
(Rensselaer Polytechnic Inst., NY)
,
SEILER J
(Rensselaer Polytechnic Inst., NY)
資料名：
Journal of Electronic Materials
(Journal of Electronic Materials)
巻： 33 号： 5 ページ： 481-486 発行年： 2004年05月
JST資料番号： D0277B ISSN： 0361-5235 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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