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文献
J-GLOBAL ID：200902225402735965
整理番号：05A0991433
多孔質誘電体基板上に原子層堆積した膜の理論的および実験的研究
A theoretical and experimental study of atomic-layer-deposited films onto porous dielectric substrates
TRAVAIY Y.
(Interuniversity MicroElectronics Center (IMEC), Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
SCHUHMACHER J.
(Interuniversity MicroElectronics Center (IMEC), Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
BAKLANOV M. R.
(Interuniversity MicroElectronics Center (IMEC), Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
GIANGRANDI S.
(Interuniversity MicroElectronics Center (IMEC), Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
RICHARD O.
(Interuniversity MicroElectronics Center (IMEC), Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
BRIJS B.
(Interuniversity MicroElectronics Center (IMEC), Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
VAN HOVE M.
(Interuniversity MicroElectronics Center (IMEC), Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
MAEX K.
(Interuniversity MicroElectronics Center (IMEC), Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
ABELL T.
(Interuniversity MicroElectronics Center (IMEC), Intel Corp., Santa Clara, California 95054)
,
SOMERS K. R. F.
(Lab. of Quantum Chemistry, Katholieke Universiteit (K.U.) Leuven, Celestijnenlaan 200F, B-3001 Leuven, BEL)
,
HENDRICKX M. F. A.
(Lab. of Quantum Chemistry, Katholieke Universiteit (K.U.) Leuven, Celestijnenlaan 200F, B-3001 Leuven, BEL)
,
VANQUICKENBORNE L. G.
(Lab. of Quantum Chemistry, Katholieke Universiteit (K.U.) Leuven, Celestijnenlaan 200F, B-3001 Leuven, BEL)
,
CEULEMANS A.
(Lab. of Quantum Chemistry, Katholieke Universiteit (K.U.) Leuven, Celestijnenlaan 200F, B-3001 Leuven, BEL)
,
JONAS A. M.
(Unite de Physique et de Chimie des Hauts Polymeres, Univ. Catholique de Louvain (UCL), 1348 Louvain-la-Neuve, BEL)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 98 号： 8 ページ： 083515-083515-9 発行年： 2005年10月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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