文献
J-GLOBAL ID:200902225593561864
整理番号:04A0588412
マイクロリソグラフィー光学のための直交収差関数
Orthogonal Aberration Functions for Microlithographic Optics
著者 (2件):
MATSUYAMA T
(Nikon Corp., Kumagaya, JPN)
,
UJIKE T
(Nikon Corp., Kumagaya, JPN)
資料名:
Optical Review
(Optical Review)
巻:
11
号:
4
ページ:
199-207
発行年:
2004年07月
JST資料番号:
L2272A
ISSN:
1340-6000
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)