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文献
J-GLOBAL ID：200902225660645636
整理番号：05A0424108
光スイッチの形成に対するマイクロ熱型押しの適用
Applications of micro hot embossing for optical switch formation
SHAN X.C.
(Singapore Inst. Manufacturing Technol. (SIMTech), Singapore, SGP)
,
IKEHARA T.
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
MURAKOSHI Y.
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
MAEDA R.
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A119 号： 2 ページ： 433-440 発行年： 2005年04月13日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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