文献
J-GLOBAL ID:200902226054865686
整理番号:03A0106171
クラスタ一次イオンビームを用いた二次イオン質量分析
Secondary ion mass spectrometry using cluster primary ion beams.
著者 (2件):
GILLEN G
(National Inst. Standards and Technol., MD, USA)
,
FAHEY A
(National Inst. Standards and Technol., MD, USA)
資料名:
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻:
203/204
ページ:
209-213
発行年:
2003年01月15日
JST資料番号:
B0707B
ISSN:
0169-4332
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)