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文献
J-GLOBAL ID：200902226140481939
整理番号：05A0622729
DLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜の接着強度改善の基板仕上げ条件の研究
Investigation of Substrate Finishing Conditions to Improve Adhesive Strength of DLC Films
OHMORI H.
(RIKEN(Inst. Physical and Chemical Res.), Saitama, JPN)
,
KATAHIRA K.
(RIKEN(Inst. Physical and Chemical Res.), Saitama, JPN)
,
KOMOTORI J.
(Keio Univ., Kanagawa, JPN)
,
MIZUTANI M.
(Keio Univ., Kanagawa, JPN)
,
MAEHAMA F.
(Keio Univ., Kanagawa, JPN)
,
IWAKI M.
(RIKEN(Inst. Physical and Chemical Res.), Saitama, JPN)
資料名：
CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research)
(CIRP Annals (International Inst. for Production Engineering Research))
巻： 54 号： 1 ページ： 511-514 発行年： 2005年
JST資料番号： E0026A ISSN： 0007-8506 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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