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文献
J-GLOBAL ID：200902226169915032
整理番号：06A0541529
MEMS-ベースの水素ガスセンサ
MEMS-based hydrogen gas sensors
DIMEO Frank
(ATMI, Danbury, CT 06810, USA)
,
CHEN Ing-shin
(ATMI, Danbury, CT 06810, USA)
,
CHEN Philip
(ATMI, Danbury, CT 06810, USA)
,
NEUNER Jeffrey
(ATMI, Danbury, CT 06810, USA)
,
ROERHL Andreas
(ATMI, Danbury, CT 06810, USA)
,
ROERHL Andreas
(Sensoric, Bonn, DEU)
,
WELCH James
(ATMI, Danbury, CT 06810, USA)
資料名：
Sensors and Actuators. B. Chemical
(Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 117 号： 1 ページ： 10-16 発行年： 2006年09月12日
JST資料番号： T0967A ISSN： 0925-4005 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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