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文献
J-GLOBAL ID：200902226231039872
整理番号：03A0159151
ZnOピエゾ電気膜のマイクロマシニング工程との両立性
The compatibility of ZnO piezoelectric film with micromachining process.
XU T
(Univ. California, CA, USA)
,
WU G
(Peking Univ., Beijing, CHN)
,
ZHANG G
(Peking Univ., Beijing, CHN)
,
HAO Y
(Peking Univ., Beijing, CHN)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A104 号： 1 ページ： 61-67 発行年： 2003年03月15日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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