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文献
J-GLOBAL ID：200902226696137757
整理番号：09A0447345
X線リソグラフィー法を用いたX線Talbot干渉計用のX線格子の作製
Fabrication of X-Ray Gratings Using X-Ray Lithography Technique for X-Ray Talbot Interferometer
NODA Daiji
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
TSUJII Hiroshi
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
TAKAHASHI Naoki
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
HATTORI Tadashi
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 156 号： 5 ページ： H299-H302 発行年： 2009年
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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