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J-GLOBAL ID：200902226869998770 整理番号：03A0535718

原料源蒸気のイオン化を備えたCVD反応器中のナノ粒子生成メカニズム

Nanoparticle formation mechanism in CVD reactor with ionization of source vapor.

著者 (3件)：

ADACHI M

(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)

TSUKUI S

(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)

OKUYAMA K

(Hiroshima Univ., Hiroshima, JPN)

資料名：

Journal of Nanoparticle Research (Journal of Nanoparticle Research)

巻： 5 号： 1/2 ページ： 31-37 発行年： 2003年04月
JST資料番号： W1361A ISSN： 1388-0764 CODEN： JNARFA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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