文献
J-GLOBAL ID:200902227251657056
整理番号:05A0354657
パルスレーザプラズマ軟X線を使用した石英ガラス板の直接ミクロ機械加工
Direct micromachining of quartz glass plates using pulsed laser plasma soft x-rays
著者 (5件):
MAKIMURA Tetsuya
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
MIYAMOTO Hisao
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
KENMOTSU Youichi
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
MURAKAMI Kouichi
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
NIINO Hiroyuki
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
86
号:
10
ページ:
103111.1-103111.3
発行年:
2005年03月07日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)