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文献
J-GLOBAL ID：200902227557614539
整理番号：08A0441920
パターン化された発信エリアを持つナノ結晶シリコン超音波発信器
NANOCRYSTALLINE POROUS SILICON ULTRASONIC TRANSMITTER WITH PATTERNED EMISSION AREA
ISOZAKI Akihiro
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
NAKAI Akihito
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
MATSUMOTO Kiyoshi
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
SHIMOYAMA Isao
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名：
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 20th Vol.1 ページ： 246-249 発行年： 2007年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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