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文献
J-GLOBAL ID：200902227645913376
整理番号：03A0171805
ナノビーム二次イオン質量分析装置の試作と評価
Development and estimation of a nano-beam secondary ion mass spectrometry apparatus.
野島雅
(東大 生産技研)
,
神田雄介
(東大 生産技研)
,
戸井雅之
(東大 生産技研)
,
冨安文武乃進
(東大 環境安全研セ)
,
坂本哲夫
(東大 生産技研)
,
尾張真則
(東大 生産技研)
,
二瓶好正
(東大 生産技研)
資料名：
分析化学
巻： 52 号： 3 ページ： 179-185 発行年： 2003年03月05日
JST資料番号： F0008A ISSN： 0525-1931 CODEN： BNSKAK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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