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J-GLOBAL ID：200902227893498911 整理番号：07A0376599

低温超音波計測によるCZシリコン結晶の原子空孔濃度分布測定:R-OSF域とボイド領域

著者 (7件)：

佐藤幸治

(新潟大大学院)

昆金正敏

(新潟大大学院)

金田寛

(新潟大物質量子科学研究セ)

根本祐一

(新潟大大学院)

鈴木修

(新潟大物質量子科学研究セ)

中村慎太郎

(東北大金属材料研)

後藤輝孝

(新潟大大学院)

資料名：

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)

巻： 54th 号： 1 ページ： 450 発行年： 2007年03月27日
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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