文献
J-GLOBAL ID:200902228014653824
整理番号:05A0061324
プラズマ強化化学蒸着により形成したふっ素化非晶質ダイヤモンド状炭素薄膜
Fluorinated amorphous diamond-like carbon films deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition
著者 (3件):
YU G Q
(Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)
,
TAY B K
(Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)
,
SUN Z
(Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
191
号:
2/3
ページ:
236-241
発行年:
2005年02月21日
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)