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文献
J-GLOBAL ID：200902228090816228
整理番号：06A0602578
厚いダイヤモンド合成向けマイクロ波プラズマ化学蒸着装置の数値解析
Numerical analyses of a microwave plasma chemical vapor deposition reactor for thick diamond syntheses
YAMADA H.
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
,
CHAYAHARA A.
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
,
MOKUNO Y.
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
,
HORINO Y.
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
,
SHIKATA S.
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 15 号： 9 ページ： 1389-1394 発行年： 2006年09月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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