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文献
J-GLOBAL ID：200902228103222837
整理番号：07A0844464
半導体ウエハ用先端的ダイシング技術-ステルス・ダイシング
Advanced dicing technology for semiconductor wafer - Stealth dicing
KUMAGAI Masayoshi
(Hamamatsu Photonics KK, Hamamatsu, JPN)
,
UCHIYAMA Naoki
(Hamamatsu Photonics KK, Hamamatsu, JPN)
,
OHMURA Etsuji
(Osaka Univ., Suita, JPN)
,
SUGIURA Ryuji
(Hamamatsu Photonics KK, Hamamatsu, JPN)
,
ATSUMI Kazuhiro
(Hamamatsu Photonics KK, Hamamatsu, JPN)
,
FUKUMITSU Kenshi
(Hamamatsu Photonics KK, Hamamatsu, JPN)
資料名：
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
(IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻： 20 号： 3 ページ： 259-265 発行年： 2007年08月
JST資料番号： T0521A ISSN： 0894-6507 CODEN： ITSMED 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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