文献
J-GLOBAL ID:200902228228326880
整理番号:06A0089954
マスクデータ作成のために最適化した分散型計算環境
Optimized distributed computing environment for mask data preparation
著者 (9件):
AHN Byoung-Sup
(Samsung Electronics, Gyunggi-Do, KOR)
,
BANG Ju-Mi
(Samsung Electronics, Gyunggi-Do, KOR)
,
JI Min-Kyu
(Samsung Electronics, Gyunggi-Do, KOR)
,
KANG Sun
(Samsung Electronics, Gyunggi-Do, KOR)
,
JANG Sung-Hoon
(Samsung Electronics, Gyunggi-Do, KOR)
,
CHOI Yo-Han
(Samsung Electronics, Gyunggi-Do, KOR)
,
KI Won-Tai
(Samsung Electronics, Gyunggi-Do, KOR)
,
CHOI Seong-Woon
(Samsung Electronics, Gyunggi-Do, KOR)
,
HAN Woo-Sung
(Samsung Electronics, Gyunggi-Do, KOR)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
5992
号:
Pt.1
ページ:
599214.1-599214.8
発行年:
2005年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)