文献
J-GLOBAL ID:200902228305492135
整理番号:06A0090150
MEMSアクチュエータを用いたサブ波長金属回折格子の集積
Integration of Subwavelength Metal Gratings with MEMS Actuators
著者 (6件):
HORSLEY David A.
(Univ. California, Davis)
,
HORSLEY David A.
(Berkeley Sensor and Actuator Center)
,
PROVINE J
(Berkeley Sensor and Actuator Center)
,
SKINNER Jack
(Univ. California, Davis)
,
SKINNER Jack
(Berkeley Sensor and Actuator Center)
,
SKINNER Jack
(Sandia National Lab., CA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
6008
ページ:
600810.1-600810.8
発行年:
2005年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)