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文献
J-GLOBAL ID：200902228455374858
整理番号：09A0941109
電子サイクロトロン共鳴プラズマスパッタリングによって石英ガラス基板上に堆積した高伝導性アンドープZnO薄膜
Highly conductive, undoped ZnO thin films deposited by electron-cyclotron-resonance plasma sputtering on silica glass substrate
AKAZAWA Housei
(NTT Microsystem Integration Laboratories, 3-1 Morinosato Wakamiya, Atsugi, Kanagawa 243-0198, JPN)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 518 号： 1 ページ： 22-26 発行年： 2009年11月02日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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