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文献
J-GLOBAL ID：200902228664822965
整理番号：09A1090543
クリーンルームにおける室圧変動に関する実験的研究 その3 室圧制御下における定常時の室圧変動に関する実験
Experimental Study on Room Pressure Fluctuation at Cleanroom: Part 3: Experiments on Room Pressure Fluctuation in Steady Conditions Under Room Pressure Controlled
村江行忠
(戸田建設)
,
岩村多美勇
(戸田建設)
,
永井裕之
(戸田建設)
,
長野耕司
(戸田建設)
,
栗木茂
(戸田建設)
,
新宮守
(戸田建設)
,
渡邊義明
(戸田建設)
,
野沢勇樹
(戸田建設)
,
久保夏希
(戸田建設)
,
齊藤充
(岡谷精立工業)
資料名：
戸田建設技術研究報告(CD-ROM)
(Toda Technical Research Report (CD-ROM))
号： 35 ページ： ROMBUNNO.2 発行年： 2009年10月01日
JST資料番号： F0284C ISSN： 2189-5031 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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