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文献
J-GLOBAL ID：200902228786042235
整理番号：05A1022841
静電容量とコンダクタンス測定における電子サイクロトロン共鳴プラズマ酸化で作製した酸化ゲルマニウム/ゲルマニウム界面の電気的挙動
Electrical Behavior of Germanium Oxide/Germanium Interface Prepared by Electron-Cyclotron-Resonance Plasma Oxidation in Capacitance and Conductance Measurements
FUKUDA Yukio
(Tokyo Univ. Sci., Nagano, JPN)
,
UENO Tomoo
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
,
HIRONO Shigeru
(NTT AFTY Corp., Tokyo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 44 号： 11 ページ： 7928-7930 発行年： 2005年11月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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