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文献
J-GLOBAL ID：200902229081440297
整理番号：06A0988469
パルスDCマグネトロンスパッタ堆積したCr-Cu-Nナノコンポジット薄膜のミクロ構造と機械的特性
Microstructure and mechanical properties of pulsed DC magnetron sputtered nanocomposite Cr-Cu-N thin films
LEE Jyh-wei
(Dep. of Mechanical Engineering, Tung Nan Inst. of Technol., #152, Section 3, Pei-Shen Road, Shen-Ken, Taipei, 222 ...)
,
LEE Jyh-wei
(Res. Center for Micro/Nanotechnology, Tung Nan Inst. of Technol., #152, Section 3, Pei-Shen Road, Shen-Ken, Taipei ...)
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LEE Jyh-wei
(Inst. of Mechatronic Engineering, Tung Nan Inst. of Technol., #152, Section 3, Pei-Shen Road, Shen-Ken, Taipei, 222 ...)
,
KUO Yu-chu
(Inst. of Mechatronic Engineering, Tung Nan Inst. of Technol., #152, Section 3, Pei-Shen Road, Shen-Ken, Taipei, 222 ...)
,
CHANG Yue-chyuan
(Inst. of Mechatronic Engineering, Tung Nan Inst. of Technol., #152, Section 3, Pei-Shen Road, Shen-Ken, Taipei, 222 ...)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 201 号： 7 ページ： 4078-4082 発行年： 2006年12月20日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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