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文献
J-GLOBAL ID：200902229519347660
整理番号：05A0419465
ダマシン銅メッキにおける添加剤の化学
The chemistry of additives in damascene copper plating
VEREECKEN P.M.
(IBM Res. Div., New York)
,
BINSTEAD R.A.
(Rohm and Haas Electronic Materials L.L.C., Massachusetts)
,
DELIGIANNI H.
(IBM Res. Div., New York)
,
ANDRICACOS P.C.
(IBM Res. Div., New York)
資料名：
IBM Journal of Research and Development
(IBM Journal of Research and Development)
巻： 49 号： 1 ページ： 3-18 発行年： 2005年01月
JST資料番号： D0061B ISSN： 0018-8646 CODEN： IBMJAE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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