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文献
J-GLOBAL ID:200902229519347660   整理番号:05A0419465

ダマシン銅メッキにおける添加剤の化学

The chemistry of additives in damascene copper plating
著者 (4件):
VEREECKEN P.M.
(IBM Res. Div., New York)
BINSTEAD R.A.
(Rohm and Haas Electronic Materials L.L.C., Massachusetts)
DELIGIANNI H.
(IBM Res. Div., New York)
ANDRICACOS P.C.
(IBM Res. Div., New York)

資料名:
IBM Journal of Research and Development  (IBM Journal of Research and Development)

巻: 49  号:ページ: 3-18  発行年: 2005年01月 
JST資料番号: D0061B  ISSN: 0018-8646  CODEN: IBMJAE  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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