文献
J-GLOBAL ID:200902229531167685
整理番号:09A0216433
LSI故障解析向けのレーザ-SQUID顕微鏡法の新しいアプローチ
New Approach of Laser-SQUID Microscopy to LSI Failure Analysis
著者 (6件):
NIKAWA Kiyoshi
(NEC Electronics Corp., Kawasaki-shi, JPN)
,
INOUE Shouji
(TDI Co Ltd., Yokohama-shi, JPN)
,
NAGAISHI Tatsuoki
(Sumitomo Electric System Solutions, Itami-shi, JPN)
,
MATSUMOTO Toru
(Hamamatsu Photonics K.K., Hamamatsu-shi, JPN)
,
MIURA Katsuyoshi
(Osaka Univ., Suita-shi, JPN)
,
NAKAMAE Koji
(Osaka Univ., Suita-shi, JPN)
資料名:
IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers)
(IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻:
E92-C
号:
3
ページ:
327-333
発行年:
2009年03月01日
JST資料番号:
L1370A
ISSN:
0916-8524
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)