文献
J-GLOBAL ID:200902230144942504
整理番号:03A0163553
ALD-Al2O3薄膜の結晶化挙動
Crystallization behavior of thin ALD-Al2O3 films.
著者 (6件):
JAKSCHIK S
(Infineon Technol. Dresden GmbH & Co. OHG, Dresden, DEU)
,
SCHROEDER U
(Infineon Technol. Dresden GmbH & Co. OHG, Dresden, DEU)
,
HECHT T
(Infineon Technol. Dresden GmbH & Co. OHG, Dresden, DEU)
,
GUTSCHE M
(Infineon Technol. Dresden GmbH & Co. OHG, Dresden, DEU)
,
SEIDL H
(Infineon Technol. Dresden GmbH & Co. OHG, Dresden, DEU)
,
BARTHA J W
(Dresden Univ. Technol., Dresden, DEU)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
425
号:
1/2
ページ:
216-220
発行年:
2003年02月03日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)