文献
J-GLOBAL ID:200902230345416908
整理番号:03A0184087
誘導結合プラズマによるC4F8の地球温暖化係数の低減
Warming Potential Reduction of C4F8 Using Inductively Coupled Plasma.
著者 (5件):
RAJU R
(Chuo Univ., Tokyo, JPN)
,
KUDO D
(Tokai Univ., Hiratsuka, JPN)
,
KUBO Y
(Chuo Univ., Tokyo, JPN)
,
INABA T
(Chuo Univ., Tokyo, JPN)
,
SHINDO H
(Tokai Univ., Hiratsuka, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
42
号:
1
ページ:
280-285
発行年:
2003年01月15日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)