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文献
J-GLOBAL ID:200902230497694296   整理番号:03A0690096

磁気サスペンションステージの長走行超精密x-y-θ運動制御

Large Travel Ultra Precision x-y-θ Motion Control of a Magnetic-Suspension Stage
著者 (3件):
KUO S-K
(Ohio State Univ., OH, USA)
SHAN X
(Corning Inc., NM, USA)
MENQ C-H
(Ohio State Univ., OH, USA)

資料名:
IEEE/ASME Transactions on Mechatronics  (IEEE/ASME Transactions on Mechatronics)

巻:号:ページ: 334-341  発行年: 2003年09月 
JST資料番号: W0894A  ISSN: 1083-4435  CODEN: IATEFW  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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