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文献
J-GLOBAL ID：200902230659932552
整理番号：09A0477247
欠陥種を考慮に入れた局所一貫性に基づく欠陥パタン照合法
A Rotational Registration Method by Using Local Consistency of Point Dispersion Considering Defect Types
浦野貴裕
(日立製作所生産技術研究所)
,
金子俊一
(北海道大学大学院 情報科学研究科 システム制御情報学研究室)
,
高氏秀則
(北海道大学大学院 情報科学研究科 システム制御情報学研究室)
,
田中孝之
(北海道大学大学院 情報科学研究科 システム制御情報学研究室)
,
前田俊二
(日立製作所生産技術研究所)
,
渋谷久恵
(日立製作所生産技術研究所)
,
吉田実
(日立製作所生産技術研究所)
資料名：
電気学会論文誌 C
(IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems)
巻： 129 号： 5 ページ： 778-785 (J-STAGE) 発行年： 2009年
JST資料番号： S0810A ISSN： 0385-4221 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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