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文献
J-GLOBAL ID：200902230753807672
整理番号：07A0992923
プラズマ窒化素子の負バイアス温度不安定性に関与する原子規模の欠陥構造の同定
Identification of atomic-scale defect structure involved in the negative bias temperature instability in plasma-nitrided devices
CAMPBELL J. P.
(The Pennsylvania State Univ., Univ. Park, Pennsylvania 16802, USA)
,
LENAHAN P. M.
(The Pennsylvania State Univ., Univ. Park, Pennsylvania 16802, USA)
,
KRISHNAN A. T.
(Texas Instruments, Dallas, Texas 75343, USA)
,
KRISHNAN S.
(Texas Instruments, Dallas, Texas 75343, USA)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 91 号： 13 ページ： 133507-133507-3 発行年： 2007年09月24日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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