文献
J-GLOBAL ID:200902230776821494
整理番号:09A0588422
Ar-N2-O2プラズマとAr-NOプラズマのガス組成の類似性
Resemblance in gas composition of Ar-N2-O2 plasmas and Ar-NO plasmas
著者 (4件):
VAN HELDEN J H
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
,
ZIJLMANS R A B
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
,
SCHRAM D C
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
,
ENGELN R
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
資料名:
Plasma Sources Science and Technology
(Plasma Sources Science and Technology)
巻:
18
号:
2
ページ:
025020,1-11
発行年:
2009年05月
JST資料番号:
W0479A
ISSN:
0963-0252
CODEN:
PSTEEU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)