文献
J-GLOBAL ID:200902231101488920
整理番号:05A0067753
各種アルゴン圧力下でPTFEからrfスパッタしたプラズマ重合膜
Plasma polymer films rf sputtered from PTFE under various argon pressures
著者 (5件):
STELMASHUK V
(Charles Univ., Prague, CZE)
,
BIEDERMAN H
(Charles Univ., Prague, CZE)
,
SLAVINSKA D
(Charles Univ., Prague, CZE)
,
ZEMEK J
(Inst. Physics, Acad. Sci. Czech Republic, Prague, CZE)
,
TRCHOVA M
(Charles Univ., Prague, CZE)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
77
号:
2
ページ:
131-137
発行年:
2005年01月17日
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)