文献
J-GLOBAL ID:200902231169206221
整理番号:08A0710518
モデルベースOPC検証のための新しい方法
A Novel Methodology for Model-Based OPC Verification
著者 (5件):
HUANG TengYen
(NANYA Technol. Corp.)
,
LIAO ChunCheng
(NANYA Technol. Corp.)
,
CHOU Ryan
(Mentor Graphics Corp., Hsin-Chu, TWN)
,
LIAO Hung-Yueh
(Mentor Graphics Corp., Hsin-Chu, TWN)
,
SCHACHT Jochen
(Mentor Graphics Corp., Hsin-Chu, TWN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
6922
号:
Pt.2
ページ:
69222F.1-69222F.10
発行年:
2008年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)