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文献
J-GLOBAL ID：200902231252573848
整理番号：06A0500310
ニッケルを用いた超合金ダイヤフラム上に作製した窒化アルミニウム薄膜の圧力へのピエゾ電気応答
Piezoelectric Response to Pressure of Aluminum Nitride Thin Films Prepared on Nickel-Based Superalloy Diaphragms
OHSHIMA Ichiro
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Saga, JPN)
,
AKIYAMA Morito
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Saga, JPN)
,
KAKAMI Akira
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Saga, JPN)
,
TABARU Tatsuo
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Saga, JPN)
,
KAMOHARA Toshihiro
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Saga, JPN)
,
OOISHI Yasunobu
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Saga, JPN)
,
NOMA Hiroaki
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Saga, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 45 号： 6A ページ： 5169-5173 発行年： 2006年06月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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