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文献
J-GLOBAL ID：200902231311994607
整理番号：03A0221823
ワイヤEDMによる単結晶シリコンインゴットの新しいスライシング法
A New Slicing Method of Monocrystalline Silicon Ingot by Wire EDM.
OKADA A
(Okayama Univ., Okayama, JPN)
,
UNO Y
(Okayama Univ., Okayama, JPN)
,
OKAMOTO Y
(Okayama Univ., Okayama, JPN)
,
ITOH H
(Okayama Univ., Okayama, JPN)
,
HIRANO T
(Toyo Advanced Technol. Co., Ltd., Hiroshima, JPN)
資料名：
International Journal of Electrical Machining
(International Journal of Electrical Machining)
号： 8 ページ： 21-26 発行年： 2003年01月
JST資料番号： L3380A ISSN： 1341-7908 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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