文献
J-GLOBAL ID:200902231324337796
整理番号:08A0710393
軸外照明の効果を与えるためのパターン特定マスク格子の設計
Design of pattern-specific mask grating for giving the effect of an off-axis illumination
著者 (10件):
KIM Young-Seok
(INHA Univ., Incheon, KOR)
,
SONG Seok Ho
(Hanyang Univ., Seoul, KOR)
,
LEE Jong Ung
(Cheongju Univ., Chungbuk, KOR)
,
OH Sung Hyun
(Hynix Semiconductor Inc., Chungbuk, KOR)
,
CHOI Yong Kyoo
(Hynix Semiconductor Inc., Chungbuk, KOR)
,
KIM Munsik
(Hynix Semiconductor Inc., Chungbuk, KOR)
,
O Beom-Hoan
(INHA Univ., Incheon, KOR)
,
PARK Se-Geun
(INHA Univ., Incheon, KOR)
,
LEE El-Hang
(INHA Univ., Incheon, KOR)
,
LEE Seung Gol
(INHA Univ., Incheon, KOR)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
6792
ページ:
67920R.1-67920R.10
発行年:
2008年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)