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文献
J-GLOBAL ID：200902231577737162
整理番号：03A0738729
超薄単結晶シリコンカンチレバー共振器 生産技術およびYoung率に及ぼす有意な試料サイズ効果
Ultrathin single-crystalline-silicon cantilever resonators: Fabrication technology and significant specimen size effect on Young’s modulus
LI X
(Shanghai Inst. of Microsystem and Information Technol., CAS, Shanghai, CHN)
,
ONO T
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
WANG Y
(Shanghai Inst. of Microsystem and Information Technol., CAS, Shanghai, CHN)
,
ESASHI M
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 83 号： 15 ページ： 3081-3083 発行年： 2003年10月13日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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