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文献
J-GLOBAL ID：200902232006106013
整理番号：09A1047293
III-V MISFET on Siを目指したSi(111)上InGaAsの選択ヘテロエピタキシャル成長
杉山正和
(東大)
,
出浦桃子
(東大)
,
竹中充
(東大)
,
中野義昭
(東大)
,
高木信一
(東大)
資料名：
電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集(CD-ROM)
(Proceedings of Annual Conference of Electronics, Information and Systems Society, I.E.E. of Japan)
巻： 2009 ページ： ROMBUNNO.TC1-2 発行年： 2009年09月03日
JST資料番号： L2171B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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