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文献
J-GLOBAL ID：200902232452042630
整理番号：06A0065765
LIGAプロセスを用いた巻き線型マイクロコイルの製造
Fabrication of Spiral Micro-Coil Utilizing LIGA Process
SHIMADA Osamu
(SUSUMU Co., LTD., Kyoto, JPN)
,
KUSUMI Shinji
(SUSUMU Co., LTD., Kyoto, JPN)
,
MEKARU Harutaka
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
SATO Noriaki
(Juken Kogyo Co., Ltd., Aichi, JPN)
,
SHIMIZU Masami
(Juken Kogyo Co., Ltd., Aichi, JPN)
,
YAMASHITA Michiru
(Hyogo Prefectural Inst. of Technol., Kobe, JPN)
,
HATTORI Tadashi
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
資料名：
JSME International Journal. Series A. Solid Mechanics and Material Engineering (Japan Society of Mechanical Engineers)
(JSME International Journal. Series A. Solid Mechanics and Material Engineering (Japan Society of Mechanical Engineers))
巻： 49 号： 1 ページ： 74-78 発行年： 2006年01月15日
JST資料番号： G0026B ISSN： 1344-7912 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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